I nnovation mit N ormen und S tandards INS

1. Innovation mit Normen und StandardsINS Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch genormte Messverfahren DIN Arbeitsausschuss „Fertigungsmittel für Mikrosysteme“ des Normenausschusses Feinmechanik und Optik im DIN e.V. Deutsches Institut für Normung Dr.-Ing. Gabriele Tröscher

2. Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch genormte Messverfahren Messverfahren für Produkte der Mikrosystemtechnik Evaluieren des Standes der Technik sowie Erweiterung der Expertise Messverfahren während der Montage von Mikrosystemen Konkretes Normungsprojekt Innovation mit Normen und StandardsINS

3. Arbeitsausschuss „Fertigungsmittel für Mikrosysteme“ Normung von Fertigungsmitteln für Mikrosysteme: DIN 32561 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Werkstückträger - Anschlussmaße und Toleranzen DIN 32563 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Klassifizierungssystem für Mikrobauteile DIN 32564 1-3 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe E DIN 32565 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Schnittstelle zwischen Endeffektor und Handhabungsgerät E DIN 32566 Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie

4. Arbeitsausschuss „Fertigungsmittel für Mikrosysteme“ Quelle: DIN 32561 DIN 32561 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Werkstückträger - Anschlussmaße und Toleranzen

5. Arbeitsausschuss „Fertigungsmittel für Mikrosysteme“ Quelle: Forschungszentrum Karlsruhe DIN 32561 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Werkstückträger - Anschlussmaße und Toleranzen

6. Arbeitsausschuss „Fertigungsmittel für Mikrosysteme“ DIN 32565 (Entwurf) Fertigungsmittel für Mikrosysteme – Schnittstelle zwischen Endeffektor und Handhabungsgerät Quelle: E DIN 32565

7. Arbeitsausschuss „Fertigungsmittel für Mikrosysteme“ • DIN 32565 (Entwurf) • Fertigungsmittel für Mikrosysteme – Schnittstelle zwischen Endeffektor und Handhabungsgerät • In Produkte umgesetzt durch • Schunk GmbH & Co. KG • MiLaSys GmbH Quelle: Schunk GmbH & Co. KG

8. Arbeitsausschuss „Fertigungsmittel für Mikrosysteme“Überführen der DIN Normen in das ISO Normenwerk • Bedienen der globalen Märkte erfordert • Überführung der nationalen Normen in das internationale Normenwerk der International Organization for Standardization (ISO): • März 2007 auf Initiative des Arbeitsausschusses • Gründung der working group • WG 16 „Production equipment for microsystems“ • des ISO/TC 39 „Machine tools“ • Leitung der Arbeitsgruppe: • Dr. Ulrich Gengenbach, • Institut für angewandte Informatik, • Forschungszentrum Karlsruhe

9. Arbeitsausschuss „Fertigungsmittel für Mikrosysteme“ Überführen der DIN Normen in das ISO Normenwerk Arbeitsprogramm der ISO/TC 39/WG 16: ISO/NP 29261 Production equipment for microsystems – Tray – Dimensions and tolerance (Basierend auf DIN 32561) ISO/NP 29262 Production equipment for microsystems – Interface between grippers and handling system (Basierend auf E DIN 32565)

10. Forschungszentrum Karlsruhe Halle 2, Stand C16 Halle 2, Stand D26 Halle 2, Stand D26/1 Halle 13, Stand F40/3 Fraunhofer-Institut IOF Halle 6, Stand C02 TU München, iwb Halle 15, Stand A12 IMM - Institut für Mikrotechnik Halle 13, Stand F12/3 Halle 15, Stand H55 DKE Halle 11, Stand E59 MiLaSys Technologies Halle 15, Stand D43 Universität Freiburg - IMTEK Halle 15, Stand H53 BESSY Halle 15, Stand D34 Fraunhofer-Institut IPA Halle 6, Stand C02 Technische Universität Braunschweig Halle 2, Stand A10 Halle P11 FRT Fries Research Halle 15, Stand D34 VDI / VDE Halle 15, Stand E46 Hannover Messe 2007: Stand 2007-03-06, Quelle www.hannovermesse.de

11. Mikrosystemtechnik und Innovationspotenzial VDE Hochschulstudie 2007, Auszug aus den Ergebnissen: Als Innovationstreiber wurden identifiziert: • Informations- und Kommunikationstechnik, • Automatisierungstechnik, • Automobilelektronik und • Antriebstechnologie • In allen vier Bereichen ist Mikrosystemtechnik wichtig Erwartung starker Innovationsimpulse durch • Mikro- und Nanotechnologien • Forschung • industrielle Umsetzung • Hier greifen die Arbeiten des Ausschusses Quelle: www.innovations-report.de

12. Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch genormte Messverfahren • Die bisherigen Projekte des Ausschusses befassen sich mit der Handhabung des Werkstücks sowie des Werkzeugs. • Es traten immer wieder Fragen zur Mikro-Messtechnik auf. • Jeder misst, der Vergleich ist das Problem. • In der Regel kann erst nach der Produktion gemessen werden (d.h. das fertige Produkt, häufig zerstörend) • Benötigt werden genormte Mikro-Messverfahren. • Von einer durch Normen unterstützten Mikro-Messtechnik wird erwartet: • Spezifikationen von Mikroprodukten (z. B. Maße) werden vergleichbar und somit Vertragsverhandlungen vereinfacht. • Innovationsschub für Produkte der MST.

13. Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch genormte Messverfahren Problemstellung: • MST-spezifische Probleme können durch genormte klassische mechanische und optische Messtechnik häufig nicht gelöst werden: • Definition von Kanten • Kantenprofile • Oberflächenbeschaffenheit, z. B. Rauheit Rauheit von Kanten Rauheit in Bohrungen • Messung ist häufig nur möglich… …nach der Montage am Endprodukt …unter Zerstörung des Produktes …mit unzureichender Vergleichbarkeit

14. Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch genormte Messverfahren Ziele: • Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch: • Verbesserung der Vergleichbarkeit vorhandener Mikro-Messverfahren; • Bildung einer Vertrauensbasis durch standardisierte Normalien und Kalibrationsverfahren, die die Vermarktung von Mikrosystemen erleichtert; • Schaffung von Hilfestellungen für den Anwender zur besseren Vergleichbarkeit von Produkteigenschaften. • Hilfestellung bei der Vertragsgestaltung durch genormte Verfahren der Mikro-Messtechnik.

15. Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch genormte Messverfahren Weg: • Neue Expertise für den Ausschuss • Messen und Prüfen durch digitale Bildverarbeitung • Erarbeiten normativer Hilfestellungen • Technische Spezifikation, Norm • Intensivieren der Öffentlichkeitsarbeit • MiNaT 2007 (Internationale Fachmesse für Feinwerktechnik, Ultrapräzision, Mikro- und Nanotechnologien), Stuttgart

16. Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch genormte Messverfahren Montagebeispiel: Quelle: Forschungszentrum Karlsruhe

17. Sicherung der Qualität von Mikrosystemen durch genormte Messverfahren Danke für Ihre Aufmerksamkeit www.ins.din.de Quelle: Forschungszentrum Karlsruhe