Elektronová mikroskopie (jemný úvod do SEM, TEM)

1. Elektronová mikroskopie (jemný úvod do SEM, TEM) Rostislav Medlín NTC, ZČU

2. Motivace Dynamická difrakce v TEM Kinematická a dynamická difrakce dvousvazková aproximace videálním krystalu intenzity přímého a difraktovaného svazku kontrast anomální absorpce kvantově mechanické řešení schrodingerova rovnice vperiodickém potenciálu aproximace volných elektronů symetrie Blochových fcí anomální absorpce ve dvousvazkové aproximaci - co je TEM & SEM, FE-SEM, STEM - zdroje el. - W, LaB6, FE - čočky, chyby - interakce el.-vzorek, rozlišení, SE, BSE, r-filtr, ESEM, Gentle Beam, detektory, EDS+SDD, EBSD - TEM BF, ADF, HAADF, Omega-filtr, EELS, HAADF, difrakční mód, přenosová fce, atomové rozlišení TEM Jeol JEM-2200FS SEM JEOL JSM-7600F SEM FEI Quanta 200

3. Outline Stručný úvod do elektronové mikroskopie - historie - elektronové zdroje, čočky a jejich vady - interakce elektronu se vzorkem - princip transmisní i skenovací mikroskopie Skenovací mikroskopie podrobněji - SE, BSE, r-filtr - ESEM, Gentle Beam - EDS, SDD - EBSD - Skenovací mikroskopy v NTC

4. Stručný úvod Fotony „Seeing is believing“ Viditelné světlo 420-780nm Objekty menší než 100µm musíme promítnout na retinu dostatečně velké. K tomu účelu používáme lupy a mikroskopy. Ernst Abbe (1840-1905) Existuje fyzikální limit – Vlnová délka světla užívaného optickými přístroji nedovoluje rozlišit detaily menší než polovina jeho vlnové délky - 280 nm pro bílé světlo - 160 nm pro UV světlo Abbeho limit (d = laterální rozlišení) • - vlnová délka světla n – index lomu  - polovina vstupního úhlu čočky

5. Stručný úvod Fotony Elektrony e- Hydrothermal worm Louis Victor Pierre Raymond 7. vévoda de Broglie 1924 – Ph.D. za teorii elektronové vlny 1929 - Nobelova cena Ebola 100kV - 1,6 x 108 m/s 1 A ~ 1012 e- 1 e- na 0,16mm = 1000x vzorek (100nm) Nanočástice Pohybující se elektron má vlastnosti podobné vlnění (platí pro jakoukoli částici) relativistická vlnová délka elektronu Povrch CD

6. 1897 – J.J. Thomson oznamuje existenci negativně nabité částice, později nazvané elektron 1924 – L. de Broglie předpokládá, že pohybující se elektron má vlastnosti podobné vlnění 1926 – H. Busch dokazuje fokusaci elektronů cylindrickou magnetickou čočkou – základ elektronové optiky 1931 – E. Ruska se spolupracovníky staví první elektronový mikroskop (Nobelova cena 1986) 1935 – M. Knoll demonstruje možnost konstrukce rastrovacího elektronového mikroskopu, otři roky později staví M. von Ardenne jeho prototyp 1939 – Siemens představuje první komerční elektronový mikroskop 1965 – Cambridge Instruments staví první komerční skenovací elektronový mikroskop Ernst Ruska: … Knoll and I simply hoped for extremely low dimensions of the electrons. As engineers we did not know yet the thesis of the “material wave“ of the French physicist de Broglie that had been put forward several years earlier (1925). Even physicists only reluctantly accepted this new thesis. When I first heard of it in summer 1931, I was very much disappointed that now even at the electron microscope the resolution should be limited again by a wavelength (of the electron). I was immediately heartened though, when, with the aid of the de Broglie equation I became satisfied that these waves must be around five orders of magnitude shorter in length than light waves. Thus, there was no reason to abandon the aim of electron microscopy surpassing the resolution of light microscopy ... THE DEVELOPMENT OF THE ELECTRON MICROSCOPE AND OF THE ELECTRON MICROSCOPY Nobel lecture, December 8, 1986 Ernst Ruska První TEM se zv. 12 000x Replika od Ernsta Ruska 1980, Deutsches Museum, Mnichov

7. Elektronové zdroje 1 1 2 W LaB6 FE-W 2 Schottky

8. Elektronové čočky • Lze spojitě měnit ohniskovou vzdálenost • Elektrostatické (větší vady) • Magnetické (menší vady) – levně pouze spojky - stáčení e- Br - radiální složka indukce ↔ Bz - axiální složka indukce ↓ - fokusace e- Korekční čočky Cs korektor

9. ← podostření | přeostření → ← - Cs | Cs + → Vady elektronových čoček 1936 - O. Scherzer - Rotačně souměrná pole mají vždy kladný koeficient otvorové (kulové) vady 3. řádu a barevné vady 1. řádu 1948 - D. Gabor – návrh holografie jako metody korekce otvorové vady Barevná vada Cc Svazek elektronů může být téměř monochromatický, největší změna energie nastává ve vzorku. S -filtrem se lze chromatické vady zcela zbavit. Otvorová vada Cs Obraz bodového zdroje Holografický záznam Cs korektor Cs korektor - funkce

10. Interakce elektronu se vzorkem - Elastický rozptyl - Neelastický rozptyl - Průchod elektronů - Odražení elektronů - Absorpce elektronů - Emise elektronů - Emise el.mag. záření - Emise pozitivně nabitých iontů

11. Hloubka ostrosti SEM  vTEM~ 5 mrad ~ 0,3° TEM rozlišení 2nm → D ~ 800nm - tloušťka vzorku ~ 100-300nm

12. Princip TEM

13. Princip SEM

14. Domácí SEM Ben Krasnow - Do It Yourself Scanning Electron Microscope http://benkrasnow.blogspot.com/2011/03/diy-scanning-electron-microscope.html

15. Skenovací mikroskopie podrobněji - SE, BSE, r-filtr - ESEM, Gentle Beam - EDS, SDD - EBSD

16. Z → E → Al Si SE Interakce elektronu se vzorkem II Odleptání polymetylmetakrylátu Elektronová emise RTG emise

17. Interakce elektronu se vzorkem III SE – povrchová morfologie BSE – materiálový kontrast

18. SEM podrobněji Everhart-Thornley detector

19. r-filtr The energy filter (r-filter) for observation of surface morphology, composition contrast, and mixture of these information.

20. Gentle Beam EDS – redukovaná energie

21. ESEM EDS – téměř plná energie

22. C N O EDS, SDD SDD Silicon Drift Detector Si(Li)

23. EBSD Kikuchiho linie

24. SEM FEI Quanta 200 JEOL JSM-7600F • Termoemisní SEM Quanta 200 od FEI s EDS detektorem (mikrosonda) od firmy EDAX • Rozlišení • Vysoké-vakuum • - 3.0nm at 30kV (SE) • - 4.0nm at 30kV (BSE) • - 10nm at 3kV (SE) • Environmentální mód (ESEM) pro nevodivé vzorky bez nutnosti pokovování • - 3.0nm at 30kV (SE) • Urychlovací napětí: 200V – 30kV • Proud svazkem:do 2μA – kontinuálně nastavitelný • UltravysokorozlišovacíField Emission SEM (Schottky) • Rozlišení 1nm při 15kV, 1.5nm při 1kV v GentleBeam módu • Detektory prvků EDS, WDS • Detektor elektronové mikrodifrakce EBSD • Zabudovaný energetický filtr(r-filtr) energie snímaných elektronů • Nenabíjící mód (Gentle Beam)pro redukci poškození citlivých vzorků a nabíjení nevodivých vzorků. • Zvětšení 25 – 1 000 000x • Urychlující napětí: 100V – 30kV

25. Děkuji za pozornost