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Tipos de bomba de vacío. Bombas de desplazamiento positivo Funcionan por movimientos mecánicos Usualmente para “ roughing ” Bombas de transferencia de impulso Funcionan “ paleteando ” a las moléculas Usualmente de 10 -3 a 10 -8 Torr Bombas de captura
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Tipos de bomba de vacío • Bombas de desplazamiento positivo • Funcionan por movimientos mecánicos • Usualmente para “roughing” • Bombas de transferencia de impulso • Funcionan “paleteando” a las moléculas • Usualmente de 10-3 a 10-8 Torr • Bombas de captura • Funcionan “almacenando” las moléculas del recipiente • No tienen salida • Saturan y deben ser regeneradas
Bomba de vacío mecánica (desplazamiento positivo) Patentada por Charles C. Barnes el 16 de junio de 1874
Bomba Roots (desplazamiento positivo) Patentada en 1860 por Philander y Francis Marion Roots
Bomba difusora (transferencia de impulso) Introducida por Wolfgang Gaede en 1915
Bomba de adsorción (captura) Vacío de 10-3 a 10-5 Torr
Bomba de adsorción criogénica (captura) Funciona en base a Criogenerador con T = 20 K
Sputter-ion pump Bomba de ionización (captura) Penning discharge B = 1-2 kOe V = 3-5 kV Plasma de e- estable si P< 10-5 Torr
Uniones O-ring
Uniones O-ring
Uniones QF – KF – Quick Flange
Uniones O-rings Grasa de vacío
Uniones Conflat
Consejos para técnicas de vacío La grasa de vacío NO puede tapar agujeros No limpiar los O-ring con solventes NO NO NO sacar un O-ring con un destornillador Para alto vacío no tocar los elementos. Usar guantes Agua es lo peor. No limpiar con agua. Alcohol es lo ultimo