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高精度デジタル隔膜真空計 F-Tron High Accuracy Digital Capacitance Manometer

高精度デジタル隔膜真空計 F-Tron High Accuracy Digital Capacitance Manometer. システム概要 System Outline. 一般的な隔膜真空計 General Type. F-ton New Technology. Analog Architecture. Digital Architecture. Pressure-Analog output Transducer. Pressure-PIM Transducer. Noise. Analog signal (0-10V). Pulse signal.

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高精度デジタル隔膜真空計 F-Tron High Accuracy Digital Capacitance Manometer

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Presentation Transcript

  1. 高精度デジタル隔膜真空計F-TronHigh Accuracy Digital Capacitance Manometer

  2. システム概要 System Outline 一般的な隔膜真空計 General Type F-ton New Technology Analog Architecture Digital Architecture Pressure-Analog output Transducer Pressure-PIM Transducer Noise Analog signal (0-10V) Pulse signal Display unit Display unit Pulse Interval Counter / MPU Analog-Digital Converter • センサの非線形性・温度依存性を アナログで補正（不正確）　 • アナログ-デジタル変換により 精度・分解能が悪化 • センサケーブルなどから電磁ノイズ 混入 • 校正に手間と時間がかかる （高コスト） • デジタル回路との整合性に優れたPIM (Pulse Interval Modulation)を採用 • センサの非線形性、温度依存性をデジタル 演算により完全に補正 • パルス信号伝送のためノイズ耐性飛躍的 向上 • 全自動・短時間校正が可能

  3. センサ概要 Sensor Outline Pressure = f(Cap) Silicon Fixed Electrode Reference Pressure SiO2 SiO2 Silicon Diaphragm Getter Measurement Pressure

  4. 特 長 Features • 高分解能High Resolution　表示分解能：1/1000000 • 高精度High Accuracy　　精度：0.1% of Reading • 高ノイズ耐性High Noise Resistance　　パルス信号伝送方式→ノイズ耐性向上 • デジタル整合性Excellent Compatibility with Digital Network　　高速データ通信(RS-485)標準装備 • コンパクトCompact　　小型シリコンダイアフラム採用→容積1/2以下 FTR-1 F-133K

  5. RS-485 コネクタ シリアル通信 アナログ出力 システム構成 System configuration ACCESSORY コネクタ セットポイント出力 リモートZERO入力 センサ校正情報メモリ 測定ケーブル 表示器 FTR-1 供給電源 DC24V センサ F-133K

  6. 仕 様 Specifications

  7. 繰返特性@23℃ Repeatability

  8. 温度特性 Thermal error

  9. Ref3 Ref2 Ref1 cut2 cut1 slow main slm ccm2 ccm1 TMP back rough DP vent F-Tron F-Tron F-Tron F-Tron F-Tron 校正システム Calibration System N2 inlet Mass Flow Controllers Temperature/ HumidityControl chamber Vacuum chamber manifold Reference Vacuum Gauges PCで全て制御、データ収集 校正データ生成 性能評価

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