R szecske s energia-sug rz sok mikroelektronikai alkalmaz sa
A mikroelektronika feladatai. Geometriai formk ltrehozsa klnbzo anyagokblIgnyekKis mretNagy pontossg. A sugrzsok fajti. Energiasugr: Elektromgneses (foton->lzer,fny)RszecskesugrElektron,ion,neutron,(foton)SzemcsesugrSiO2, Al2O3. Sugrparamterek. HullmhosszEnergia, En
484 views • 30 slides