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INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL

INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL. PRODUCTOS Y SERVICIOS. CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANOTECNOLOGÍAS. Maquinado para la fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos . Desarrollo de microcanales . Obtención de micro-estructuras como cantiléver o membranas.

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  1. INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL PRODUCTOS Y SERVICIOS CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANOTECNOLOGÍAS • Maquinado para la fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos. • Desarrollo de microcanales. • Obtención de micro-estructuras como cantiléver o membranas. Ataque por iones reactivos (RIE) Descripción Aplicaciones Resultados El RIE es una técnica de ataque en seco que combina efectos físicos y químicos para remover materiales semiconductores así como materiales depositados en la superficie de los substratos mediante la generación de plasma a partir de gases. Contacto Beneficios Substrato • Evita ataques isotrópicos. • Ataque o grabado de silicio. • Ataque de dieléctricos como óxido de silicio (SiO2) o nitruro de silicio (Si3N4). • Ataque de polímeros como resinas fotosensibles entre otros. Dr. Jacobo Esteban Munguía Cervantes jmunguia@ipn.mx Tel. 57296000 Ext. 57513 CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANNOTECNOLOGÍAS nanocentro@ipn.mx

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