1 / 6

SiC szemcsék TEM vizsgálata Si hordozón

SiC szemcsék TEM vizsgálata Si hordozón. Készítette: Bucz Gábor, buczgabor@citromail.hu Földes Ferenc Gimnázium Tanára: dr. Zsúdel László, Földes Ferenc Gimnázium, Miskolc Témavezető: dr. Tóth Lajos, Radnóczi György Zoltán vékonyréteg fizikaosztály. Feladat.

jenis
Download Presentation

SiC szemcsék TEM vizsgálata Si hordozón

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. SiC szemcsék TEM vizsgálataSi hordozón Készítette: Bucz Gábor, buczgabor@citromail.hu Földes Ferenc Gimnázium Tanára: dr. Zsúdel László, Földes Ferenc Gimnázium, Miskolc Témavezető: dr. Tóth Lajos, Radnóczi György Zoltán vékonyréteg fizikaosztály

  2. Feladat CO és Ar keverékében hőkezelt Si-szelet elektronmikroszkópos vizsgálata. • Átnézeti kép készítése síkmintáról, morfológia vizsgálata; • Moire-csíkrendszer vizsgálata síkmintán; • Nagyfelbontású vizsgálatok keresztmetszeti mintán.

  3. Általános jellemzés • Jellemző általános négyzetforma • Nagyjából párhuzamos élek, • a Si [100]-hoz illeszkednek • Egyenletes méreteloszlás • Jellemző méret 50-100nm • Látható feszültség aszemcsék körül

  4. Moire-mérés Két egymásra vetülő kristály esetén: dm=d1×d2/(d1-d2) d1=1,9201Å(Si 220); d2=1,5411Å(SiC 220) Elméleti érték: dm=7,8Å 5,55×10-6cm / 68vonal = 8,16Å

  5. Nagyfelbontású vizsgálatok keresztmetszeti mintán • A hordozó és a SiC határfelülete sík (Si {001} alul és az oldalán is); • A szemcse tetején egy bemélyedés látható; • A Si és a SiC kristályrácsa melletta képben megjelenik a Si és aSiC 111 síkjainak átfedéséből adódómoire-csíkrendszer

  6. Köszönöm a figyelmet!

More Related