1 / 31

3. gyakorlat

3. gyakorlat. Készítette: Földváry Árpád e-mail: foldvary@eet.bme.hu. Litográfia. U V fény. Lakk. Lakk. Oxid. Oxid. Si szelet. Si szelet. Negatív litográfia. Negatív lakk: A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva.

kaiya
Download Presentation

3. gyakorlat

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. 3. gyakorlat Készítette: Földváry Árpád e-mail: foldvary@eet.bme.hu

  2. Litográfia Napelemek - 3. gyakorlat

  3. UVfény Lakk Lakk Oxid Oxid Si szelet Si szelet Negatív litográfia • Negatív lakk: • A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával.- Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva. Előhívás után megmaradt lakk Ábra a maszkon Megvilágított terület a lakkon Ablak Árnyékolt terület a lakkon Napelemek - 3. gyakorlat

  4. UV fény photoresist Lakk Lakk photoresist Oxid Oxid oxide oxide silicon substrate Si szelet Si szelet silicon substrate Pozitív litográfia • Pozitív lakk: • A szeleten kialakuló ábra megegyezik a maszk ábrával.- Ott oldható a lakk, ahol meg lett világítva. Előhívás után megmaradt lakk Ábra a maszk Árnyékolt terület a lakkon Ablak Megvilágított terület a lakkon Napelemek - 3. gyakorlat

  5. UV fény  Lakk Maszk  3) Beszárítás 2) Lakk felcentrifugálása 4) Pozícionálás, megvilágítás 1) Nedvesség eltávolítása 5) Előhívás 6) Beégetés 7) Előhívás ellenőrzése Fotolitográfia lépései Napelemek - 3. gyakorlat

  6. Z Y X q Lakkfelvitel eszközei 4 dimenzióban mozgatható fúvóka Lakk adagoló fúvóka Lakk áramlás Áramló levegő Szelet Rozsdamentes acél tál Vákuumos szelettartó Megfolyt hátoldali lakk eltávolítás(EBR) Levegő elszívás Maradék lakk elvezetése Motor Vákuum Napelemek - 3. gyakorlat

  7. Fotolitográfiai gyártósor Napelemek - 3. gyakorlat

  8. Vákuumtechnika Napelemek - 3. gyakorlat

  9. Vákuumrendszer általános felépítése Napelemek - 3. gyakorlat

  10. Elővákuum létrehozása: Forgólapátos szivattyú • Szívási sebesség 1-300m3/óra • Végvákuum: - 0,1mbar (egyfokozatú) - 0,001 mbar (kétfokozatú) Napelemek - 3. gyakorlat

  11. Elővákuum mérése: Termopár • Mérési elv a hővezetésen alapul • Méréshatár: 0,001mbar • Szál elkoszolódhat, kiéghet • Lassú Napelemek - 3. gyakorlat

  12. Elővákuum mérése: Pirani mérő • Legelterjedtebb • Méréshatár: 2-0,001mbar • Gyors • W szál elkoszolódhat, kiéghet Napelemek - 3. gyakorlat

  13. Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú • Nagyon elterjedt • Egyszerű felépítés • Könnyen tisztítható, javítható • Szívási sebesség mérettől függ: 100-10000 l/s • Végvákuum: ~10-8 mbar Napelemek - 3. gyakorlat

  14. Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú Napelemek - 3. gyakorlat

  15. Nagyvákuum létrehozása: Turbómolekuláris szivattyú • Nagyon elterjedt • Szívási sebesség mérettől függ: 50-3500 l/s • Végvákuum: ~10-10 mbar Napelemek - 3. gyakorlat

  16. Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuummérő • Széles mérési tartomány: 10-2 – 10-10 mbar • Egyszerű • Kiéghet a fűtött katód Napelemek - 3. gyakorlat

  17. Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuum mérő Napelemek - 3. gyakorlat

  18. Nagyvákuum mérése: Penning vákuummérő • Nincs fűtött katód, nem éghet ki • Kisebb pontosság • Mérési tartomány: ~10-8 mbar-ig Napelemek - 3. gyakorlat

  19. Fémréteg leválasztási módszerek Napelemek - 3. gyakorlat

  20. CVD (Chemical Vapor Deposition) 1) Reagens felhő CVD reaktor Gáz befújás 7) Melléktermékek deszorpciója 8) Melléktermék eltávolítás 2) Előreakciók Melléktermék Elszívás 3) Gáz molekulák diffúziója 5) A vegyület bediffundál a hordozóba Vékony réteg 6) Felületi reakciók 4) Vegyület abszorpciója Hordozó Napelemek - 3. gyakorlat

  21. LPCVD (Low PressureChemical Vapor Deposition) Három zónás fűtés Nyomás mérő Kifújás a vákuum szivattyúhoz Gáz bemenet Termoelemek Termoelemek Napelemek - 3. gyakorlat

  22. Katódporlasztás Napelemek - 3. gyakorlat

  23. Vákuumgőzölés Napelemek - 3. gyakorlat

  24. Vákuumgőzölés módjai • A gőzölés történhet: • Huzalról • Tégelyből • Csónakból • Elektron sugárral • A tartó anyaga lehet: • Wolfram (W), Bór-nitrid (BN) Tantál (Ta), Molibdén (Mo). Napelemek - 3. gyakorlat

  25. Elektronsugaras gőzölés http://www.ett.bme.hu/vlab/start.html Napelemek - 3. gyakorlat

  26. Vákuumgőzölő Napelemek - 3. gyakorlat

  27. Rezgőkvarcos rétegvastagság mérő Napelemek - 3. gyakorlat

  28. Kontaktusréteg kialakítása Napelemek - 3. gyakorlat

  29. Kontaktus réteg a, szitanyomtatással felvitt vezető réteg b, lézerbevágásos, eltemetett kontaktus kémiai fémréteg leválasztással Napelemek - 3. gyakorlat

  30. Szitanyomtatással felvitt vezetőréteg Napelemek - 3. gyakorlat

  31. Eltemetett vezetőréteg Napelemek - 3. gyakorlat

More Related