1 / 14

Elektro króm rétegek

Elektro króm rétegek. Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum. Bevezeté s. Mi az elektrokr ó m effektus? Reakítv porlaszt á s R é tegek min ő sit é se Ö sszefoglal á s, k ö vetkeztet é s. Mi az elektrokróm effektus?. Chromos (görög) = szín

mariam-britt
Download Presentation

Elektro króm rétegek

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Elektrokróm rétegek Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum

  2. Bevezetés Mi az elektrokróm effektus? Reakítv porlasztás Rétegek minősitése Összefoglalás, következtetés

  3. Mi az elektrokróm effektus? • Chromos (görög) = szín • Egy anyag színe változhat többféle hatásra (termo, foto, piezo …) • Elektrokromizmus: színváltozás elektromos potenciál hatására • Ismert anyagcsoportok, amelyeken ilyen hatás fellép: • szerves pigmentek (reverzibilis redox reakciók) • vezető polimerek (polaron képződés) • fémoxidok

  4. Alkalmazási területek • Kijelzők • Tükrök és üvegek („Smart windows”) • Autóipar • Optikai szűrők

  5. Építészeti alkalmazás

  6. Az eszköz keresztmetszete Mo vagy W oxid aktív réteg Elv: reverzibilis elektrokémiai reakció a MoO3 rétegben

  7. MoO3 rétegépítés : reaktív magnetron porlasztás • Önfenntartó kisülés (plazma) – DC, RF • Reaktív: oxigén szerepe • Paraméterek: gáznyomás, teljesítmény, munkatávolság • Magnetron elve: ionizációs hatásfok növelése, „sűrűbb” plazma

  8. A rétegleválasztó berendezés

  9. Leválasztott rétegek minősítése Rétegvastagság mint a fő porlasztási paraméterek (gázarány, teljesítmény ) függvénye Optikai tulajdonságok (transzmisszió) Kristályszerkezet, sávszerkezet – XRD, SEM, TEM, PL …

  10. Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása G=konstans S=aP+b a=k1G+k2 b=k3G+k4 S=(k1G+k2)P+k3G+k4 S:[nm/ciklus] P:[W] G: % m/m

  11. Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása Mérési pontok eloszlása Illesztett függvény

  12. Transzmisszió % (1/d(lnI/I0)Eg)2 Kiértékelés II. - Transzmisszió MoO3 rétegek transzmissziós spektrumai Sávél változása Sávél felett: reflexió miatti minimumok-maximumok • Kiértékelt spektrumok • Tiltott sáv függése a leválasztási paraméterektől

  13. Összefoglalás Reaktív porlasztással választottam le MoO3 rétegeket Rétegépülési sebesség leírása illesztett tapasztati függvénnyel Transzmissziós tulajdonságok mérése

  14. Köszönöm a figyelmet!

More Related