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INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL

INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL. PRODUCTOS Y SERVICIOS. CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANOTECNOLOGÍAS. Sistema de alineación de mascarillas (EVG620). Fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos .

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  1. INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL PRODUCTOS Y SERVICIOS CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANOTECNOLOGÍAS Sistema de alineación de mascarillas (EVG620) • Fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos. • Desarrollo de micro y nano estructuras, microcanales, sensores de presión, etc. Descripción Aplicaciones Resultados El sistema EVG620 es una herramienta de doble uso diseñada para realizar procesos de fotolitografía de doble cara, así como procesos de litografía por nanoimpresión NIL (NanoimprintLitography). Contacto Beneficios • Fabricar dispositivos a escala manométrica. • Transferencia de patrones a escala micrométrica con una resolución de 1 a 5 mm (fotolitografía). • Transferencia de patrones a escala nanométricacon una resolución menor a 50 nm (NIL). • Alineación litográfica por ambas caras. Dr. Jacobo Esteban Munguía Cervantes jmunguia@ipn.mx Tel. 57296000 Ext. 57513 CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANNOTECNOLOGÍAS nanocentro@ipn.mx

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