1 / 24

Przetworniki ciśnienia

Przetworniki ciśnienia. Elementy odkształcalne rurkowe. Jednorodna. Z wewnętrznym trzpieniem. Asymetryczna. Bourdona. Elementy odkształcalne mieszkowe. Indukcyjnościoweczujniki ciśnień. p. Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły. p.

dyani
Download Presentation

Przetworniki ciśnienia

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Przetworniki ciśnienia

  2. Elementy odkształcalne rurkowe Jednorodna Z wewnętrznym trzpieniem Asymetryczna Bourdona

  3. Elementy odkształcalne mieszkowe

  4. Indukcyjnościoweczujniki ciśnień

  5. p Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły

  6. p Tensometryczny czujnik ciśnieńrurowy

  7. SiO 2 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ I etap UTLENIANIE Si

  8. II etap DOMIESZKOWANIE BOREM BOR SiO 2 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ Si

  9. Si SiO 2 Fotoresist Maska WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ III etap FOTOLITOGRAFIA

  10. WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ IV etap TRAWIENIE KRZEMU Si

  11. V etap TRAWIENIE SiO I UTLENIANIE 2 SiO 2 WYTWORZENIE MEMBRANY KRZEMOWEJ Si

  12. FOSFOR warstwa + p SiO 2 WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA Si

  13. SiO warstwa 2 + p WYTWORZENIE STRUKTURY CZUJNIKA PIEZOREZYSTOR Si

  14. Czujniki piezorezystywne ciśnienia oparte są na pomiarze naprężeń proporcjonalnych do różnicy ciśnień występujących po obu stronach membrany. Naprężenia mierzone są przy pomocy piezorezystorów (rezystorów dyfuzyjnych wykonanych w membranie). Efekt piezorezystywny jest silnie anizotropowy i mocno zależy od orientacji krystalograficznej.

  15. z (100) y z z x y y (110) x (111) x <001> <001> <111> <011> <010> <110> <110> <110> <111> Płaszczyzna <100> ANIZOTROPIA CZUŁOŚCI PIEZOREZYSTORÓW c)

  16. STRUKTURA CZUJNIKA UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW PIEZOREZYSTORY 1 mm

  17. R R 1 3 U Z R 4 R 2 UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW

  18. CIŚNIENIE NIŻSZE Si CIŚNIENIE WYŻSZE Si PODŁOŻE SZKLANE

  19. ZINTEGROWANY CZUJNIK CIŚNIENIA STRUKTURA TRANZYSTORA BIPOLARNEGO STRUKTURA CZUJNIKA E K B Si PODŁOŻE SZKLANE

  20. A A CZUJNIK POJEMNOŚCIOWY MEMBRANA ELEKTRODY Si PODŁOŻE SZKLANE

  21. Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber absolutny względny

  22. Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber Różnicowy, medium doprowadzone dwustronnie Względny, medium doprowadzone jednostronnie

  23. Przyciski do nastawienia zera i zakresu Płytka z elektroniką Ma obudowaną konstrukcję typu plug-in i ulepszone zamocowanie Bardzo prosta obsługa Obudowa elektroniki Kompatybilna ze standardem Fieldbus, pozostawia dużo miejsca na przewody Nowe możliwości softwerowe Listwa zaciskowa Wyświetlacze typu LCD, sygnały ostrzegawecze kompatybilne ze standardem NAMUR i możliwość nastawienia granic przekroczenia zakresu. Zawiera trzy zaciski w zwartej konstrukcji typu plug-in Moduł z czujnikiem Spawana metalowa obudowa Przyłącze procesowe Przetwornik ciśnienia 3051

More Related