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Dispositivos para Sistemas Ópticos. Micro-Espelhos. fixos e móveis horizontais e verticais. Chaveamento Óptico. Estrutura mecânica ressonante. Micro-Estruturas Mecânicas. Estrutura Comb Drive. massa móvel. acelerômetro filtro mecânico atuadores ressonantes. parte fixa. y. x.
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Micro-Espelhos • fixos e móveis • horizontais e verticais
Chaveamento Óptico Estrutura mecânica ressonante
Estrutura Comb Drive massa móvel • acelerômetro • filtro mecânico • atuadores ressonantes parte fixa y x
Micro-Fluídica • Válvula (surface / back-side bulk micromachining) • Bomba de Propulsão (processo híbrido) fluxo fluxo entrada fechada fluxo saída aberta
Componentes para Circuitos Microondas
Linha de Transmissão linha metálica plano de massa
Indutor Espiral Planar... • Membrana open areas • Linhas Isoladas
Transformadores Planares • Cp = Cs • 40fF 15fF • Cm • 200fF 80fF
Método de Elementos Finitos Circuito Elétrico Equivalente Modelagem e CAD Formulação Matemática
Linguagem de Descrição de Hardware Analógico HDL-A Spectre-HDL VHDL 1076.1 VHDL-AMS LIBRARY conserved_systems; USE conserved_systems.nature_pkg.ALL; ENTITY piezopress_equ IS GENERIC (h: real := 17e-6; -- plate thickness a: real := 1e-3; -- plate side length r0: real; -- nominal resistance rs: real); -- sensitivity PORT (TERMINAL fp: fluid; -- fluidic pin TERMINAL ep: electrical); -- electrical pin ENDENTITY piezopress_equ; ARQUITECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT e0: real := 146.9e9; -- Si elasticity [N/m**2] CONSTANT v0: real := 0.1846; -- Si Poisson’s ratio CONSTANT df: real := e0*h**3/(12*(1-sqr(v0)); -- rigidity QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground; QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd; QUANTITY w11: real; -- deflection coefficient BEGIN (w11/h)**3 + 0.2522*w11/h == 0.000133*p*a**4/(df*h); i == v/(r0 + rs*2.5223*1.5895e9*w11); ENDARQUITECTURE equ; Sensor de pressão piezo-resistivo
Conclusão • Área de desenvolvimento promissora • Identificação de aplicações potenciais • Criatividade na criação de dispositivos • Equipes de trabalho multi-disciplinares
Fotos : • Sandia National Laboratories • MCNC MEMS Technology Applications Center • TIMA Laboratory - INPG • University of Wisconsin - Madison • Journal of Microelectromechanical Systems