JED-2300 の使用方法

JED-2300の使用方法 精密分析室 2013/9/18

目次 STEM像に切り替え-5 始動-3 STEM像に切り替え-4 STEM像の調整方法-6 AnalysisStation のデータ保存場所-8 AnalysisStationの起動-7 ファイル名に任意の名前を入れる方法-10 AnalysisStation のメニュー-9 測定条件の設定-11 画像の取り込み-12 マッピングの元素を追加-13 マップ画像からライン分析-14 マッピング元素の表示色を変える-15 スペクトル画面から定量分析結果表示-16 スペクトル画像の保存-17 連続分析・点分析・ライン分析の仕方-18 画像の保存 JPEG-21 画像の保存ワードに転送 -22 SMileViewでレイアウト保存・印刷-23 STEM像からTEM像にもどす-25 終わり方-26 分析結果の保存-24

始動１．液体窒素が入っているか確認　　（通常は火曜日、金曜日朝自動供給されているので、液体窒素自動　　　停止装置のＴＥＭ液面を確認）２．右側のＰＣを起動（使い始める１時間くらい前からが理想）３．Analyser Manager　　　　をクリックすると右のような画面がでる４．AnalysisStation　　　　　を起動５．BEAMをCLOSEにする６．検出器を入れる　（LOWMAG DIFFモードでは入らない）　　　　　　　　　　　　　　　　　　２秒くらい押す雷マークが黄色になっていないときはバイアスオンを選択目次に戻る

STEM像に切り替える ７．JEOL_SimpleImageViewer 　　　　　を起動する８．DialogueメニューよりASIDを起動　ASID,STEI-BF,inをチェック　　　　　　　　　　　　　　　　９．コンデンサー絞りNo2,対物絞りNo3を中心に　　　　　　　　　　　　　　　　　　入れる　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１０．ＳＴＥＭ検出器を入れる　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　右に回して静かに押しこむ目次に戻る

HAADF-STEM像に切り替える ７．JEOL_SimpleImageViewer 　　　　　を起動する８．DialogueメニューよりASIDを起動　ASID,STEI-DF,inをチェック　　　　　　　　　　　　　　　　９．コンデンサー絞りNo2,対物絞りは　　　　　　　　　　　　　　　　　　入れない　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１０．ＳＴＥＭ-DF検出器を入れる　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　左に回して静かに押しこむ目次に戻る

STEM像の調整方法 エリアを狭めるときフォーカスあわせに最適画面をキャプチャー日付と時間のデータで保存されるスキャンスピード通常は３大まかなピント合わせに使う　　　明るさコントラスト目次に戻る

AnalysisStation　を起動すると取り込み画面が出るので画像を取り込む、その後必要なモードを選択AnalysisStation　を起動すると取り込み画面が出るので画像を取り込む、その後必要なモードを選択２．マッピング２．点分析など２．スペクトル取り込み１．画像取り込み目次に戻る

AnalysisStationのデータディレクトリ 目次に戻る

AnalysisStationのメニュー ファイル　　　　編集　　　　　　表示　　　　　　分析　　　　　ツール目次に戻る

ファイル名に任意の名前を入れる方法 新規視野に入れたデータがファイル名につく表示/設定を選択

測定条件の設定 PHAモードはスペクトル測定ではT3 T2 元素マッピングではT2 T1 標準Ｔ１　Ｔ２　Ｔ３　Ｔ４高計数率高分解能目次に戻る

画像の取り込み 画像取り込み・・・マップを取り込んだ後にマップをダブルクリックするとマップ画面が表示される目次に戻る

マッピングの元素を追加する 周期表で元素を指定して再生をクリック目次に戻る

マップ画面からライン分析をする ラインをクリック場所を移動目次に戻る

マッピングの元素の表示色を変える １．マップ画面のツール/パレット編集で元素を選択２．パレット上を右端を右クリックで　　色の指定メニューを出し色を指定　　する。左端は背景色の変更目次に戻る

スペクトル画面から定量分析結果表示 スペクトル測定あり定量分析結果は了解を押すとスペクトル測定があるときはここに反映されます目次に戻る

スペクトル画像の保存 Jpg画像データとして EMSA/MAS Format *.emsa 　テキストデータとして保存後でエクセルで　読み込んでグラフ化ができる EMF Format *.emf 画像を表示して印刷プレビューでエクスポートＷＯＲＤ形式で保存できる目次に戻る

連続分析　点分析、ライン分析の仕方 画像を読み込み、点分析、ライン分析を選択し、開始をクリックライン分析の点の数を指定目次に戻る

ライン分析の仕方 右クリックで名称変更等画面上で右クリック　その場所の線分析目次に戻る

ライン分析 ライン分析　　重畳ボタンで画面上にラインプロットを重ねて表示する右クリックで色の変更目次に戻る

画像の保存　エクスポートでJPEG形式で保存する方法画像の保存　エクスポートでJPEG形式で保存する方法ほとんどの画像の上で右クリックをするとコピーできる目次に戻る

画像の保存　ワードに転送し保存する方法 マップ表示からスペクトル表示させ、印刷プレビューからワード転送を選択目次に戻る

Smile View でレイアウト保存・印刷 １．SMVをクリックしレイアウトシートを表示２．ユーザーレイアウトから選択する３．必要な画面の右クリックでコピーする４．レイアウト上の必要なところで右クリックで　　貼り付ける５．３，４を繰り返す６．WORD転送でワードに貼り付け保存する目次に戻る

分析結果の保存 測定結果は後からデータが取り出せるようにプロジェクト保存する目次に戻る

STEM像からTEM像にもどす １．検出器を引いて左に回す２．ASID Control Panel のTEMにチェック３．コンデンサー絞りをNo1,対物絞りを No1に入れて中心をあわす目次に戻る

終わり方 １．BEAMをCLOSEにする２．検出器を出す　　　　　　　　　２秒程度押す３．AnalysisStation　　　　を終了４．Analyzer Manager をもとのサイズに戻すを選択し終了をクリック４の前に黄色い雷マークでバイアスオフを選択できるバイアスオフにしておくと液体窒素がなくなってもダメージが少ない目次に戻る

用語集 エスケープピーク処理　エスケープピークとは検出器に入射したＸ線がある定まった確率で1.74eVだけ低く検出されるピークです。正しい特性Ｘ線ピーク強度を求めるためには、エスケープピークを除いた後、本来のエネルギー位置（1.74eVエネルギーの高いところ)に加える必要があるピーク分離　特性Ｘ線の重なりを分離する処理「オーバーラップファクタ法」と「リファレンススペクトル法」があるストイキオメトリ　試料が酸化物や窒化物などの化合物である場合に設定します。ストイキオメトリで分析する元素と他の元素の化合比を「化学式の変更」から設定します。バックグラウンド減算　正しい特性Ｘ線ピークの強度を求めるためには、バックグラウンドの成分の減算を「クレイマー法」を用いて行いますＺＡＦ補正計算　スペクトル処理で求めた各元素の特性Ｘ線強度を補正計算して濃度を求める処理で、「スタンダード法」と「スタンダード・レス」法がありますデッドタイム　検出器の不感時間、検出器に信号が入って処理する時間がかかるため数え落としが生じる。Ｘ線の計数率が高くなるとデッドドタイムが大きくなるコンタミネーション　電子線を当てることによって鏡体中の炭化水素系の残量ガスが観察面に付着し汚れとなって見えるエミッション電流　電子銃から放出される電子電流この一部が絞りを通ってプローブ電流になるガンマ補正　画像信号の増幅器では、入力信号と出力信号は直線関係にある。これを曲線にすることで画像の明るい部分を抑えながら暗　い部分を増幅したり、暗い部分を抑えながら明るい部分を増幅することができる。これをガンマ補正と言う。目次に戻る

コア・ロス電子 　試料の原子の内殻電子を励起させて、その原子特定のエネルギーを損失した状態ででてくる電子。コア・ロス電子を測定することにより、元素の種類、状態密度、原子間距離などの情報が得られる。目次に戻る

JED-2300 の使用方法