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Filtros en INA Filtros en SRON (¿problema resuelto?) Nanolab en el INA SQUIDS PTB. J. Sesé, Reunión Xeus Santander 15 Enero 2007. Filtros en INA. Para depositar Nb superconductor: Ritmo rápido Sputtering Distancia target-sustrato de unos pocos cm > EQUIPO DEDICADO. Filtros en SRON.
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Filtros en INA • Filtros en SRON (¿problema resuelto?) • Nanolab en el INA • SQUIDS PTB J. Sesé, Reunión Xeus Santander 15 Enero 2007
Filtros en INA • Para depositar Nb superconductor: • Ritmo rápido • Sputtering • Distancia target-sustrato de unos pocos cm • > EQUIPO DEDICADO
Filtros en SRON Presentación M. Bruijn
Nova 200 Nanolab, FEI Co. • Equipo dual beam: FIB + SEM • Inyectores de gases para depositar Pt, W, SiO2, Co y Yodo para atacar • STEM • Análisis EDX • Omniprobe • Litografia haz de electrones • Raith pattern generator
Au Mo Muestra MoAu 25/25 Si3N4 Si
Muestra MoAu 25/75 Membrana
Muestra MoAu 25/75
SQUIDs PTB • Cableado en dilución • evitar carga térmica
Preparar chip carrier • PCB con microfresas
Propuesta de planes • Filtros: • Seguir colaborando SRON, estudiando proceso fabricación con el NANOLAB • Proponer Triming de los filtros con FIB • SQUIDs: • Preparar PCB • Cableado dilución