1 / 14

Litografia par estruturas reais

Litografia par estruturas reais. Correção de máscaras (OPG- óptical proximity correction ). Phase shifting technique : melhoria em contraste. Sistema de projeção de varredura (1:1), com alta efficiência ( throughput ), usado para lâminas grandes.

lacota-woods
Download Presentation

Litografia par estruturas reais

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Litografia par estruturas reais

  2. Correção de máscaras (OPG- óptical proximity correction)

  3. Phase shifting technique : melhoria em contraste

  4. Sistema de projeção de varredura (1:1), com alta efficiência (throughput), usado para lâminas grandes

  5. Seqüência de gravação step-and-repeat

  6. Espessura de resiste em função da velocidade de spinner

  7. Dispositivos para recozimento (baking) de resiste

  8. Exposição: efeito do tempo

  9. Interferência da luz dentro de resiste: ondas estacionárias

  10. Anti-reflection coating, exemplo de uso

  11. Revelação: efeito do tempo

  12. Litografia com feixe de elétrons

  13. Espalhamento de elétrons em resiste e substrato, efeito de proximidade

  14. Efeitos de inter- e intra-proximidade

More Related